三坐标按操作方法可以分为手动三坐标测量仪和自动三坐标测量仪，而且每一种三坐标测量仪又有不同的系列，不同系列的三坐标测量仪使用方法都不一样；下面是一些共性的使用方法：
一、量测前准备：
a、检查空气轴承压力是否足够
b、安装工件
二、测头选择及安装
a、将适当的测头装于Z轴承接器
b、检视Z轴是否会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀）
三、量测操作
a、开启处理机电源
b、开启打印机开关
c、参考操作手册，选择所需功能之指令
四、完成后注意事项
a、Z轴移至原来位置后，锁定
b、X，Y轴各移至*，锁定
c、关电源及压力阀
d、取下测头
e、并作适当的保养
